10.3969/j.issn.1001-3806.2009.06.024
2维光子晶体抗反膜的制作及其特性分析
为了研究2维亚波长光栅的抗反射特性,分析了2维光子晶体的2维光栅结构,通过全息3束光干涉的方法,在光刻胶上制作了六角结构的2维全息光子晶体结构.把具有2维全息光子晶体结构的光刻胶作为母版采用全息模压的方法,将结构复制到薄膜材料上.结果表明,这种抗反膜在红外波段具有增透作用,与理论分析相吻合.
全息、抗反膜、等效介质理论、亚波长光栅
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O438.1(光学)
福建省科技计划资助项目 2007F3099
2010-01-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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