3维激光振镜扫描系统的关键技术研究

摘要：

为了设计可用于大幅面扫描的3维激光振镜扫描系统,深入研究了3维激光振镜扫描系统的动态响应性能及控制算法、校正算法,采用具有高响应性能的伺服机构作为系统的执行机构,合理地规划扫描路径以及扫描延时参量,设计了对扫描图形进行精确校正的扫描校正模型,开发出了一套能实现大幅面精确扫描的3维激光振镜扫描系统.该3维激光振镜扫描系统经过长期实验验证,运行稳定,其扫描重复定位精度不大于30靘,扫描精度可达100mm±0.1mm.结果表明,该3维激光振镜扫描系统在需要进行大幅面精确激光扫描行业中有重要应用价值.

关键词：光学器件、振镜、动态聚焦、动态性能、扫描精度

所属期刊栏目：33

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：377-380