基于相位解卷的位移测量系统

摘要：

为了实现适度光反馈机制下对微位移进行测量的目的,采用了相位解卷的位移测量方法.该方法是在对系统参量C和峤刑崆胺掷氩饬康幕∩?通过寻找自混合干涉信号的特殊点,即峰值点、谷值点及转折点,恢复了含光反馈时的外腔相位,对外腔相位进行进一步的处理得到了外部运动物体的位移信息.仿真分析及实验结果验证了该测量方法的可行性.结果表明,对于十几微米的振动,该系统的测量误差仅为±30nm.这一结果对高精度微位移及微振动的测量是有帮助的.

关键词：测量与计量、干涉、位移测量、相位解卷、特殊点

所属期刊栏目：33

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60871031

在线出版日期：2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：359-361,365