激光直写技术制备SiO2-TiO2条形光波导工艺研究

摘要：

为了研究激光直写技术在光波导制备中的应用,采用波长为1.07μm的连续光纤激光器制备了硅基SiO2-TiO2条形光波导.探讨了激光直写技术制备条形光波导的原理,研究了激光参数对条形光波导宽度的影响,最后测试了光波导的通光模场以及光传输损耗.结果表明,条形光波导的宽度随着激光功率密度的增加而增大.当激光扫描速率在0.1mm/s～1mm/s范围内变化时,条形光波导的宽度随着激光扫描速率的增加而降低;高于1mm/s时对波导宽度无明显影响.在优化的工艺参数下,激光直写得到的条形波导的厚度约为0.4μm,宽度为120μm,整条波导非常均匀、准直性很好,对于1550nm波长的光呈多模传输,最小传输损耗为1.7dB/cm.

关键词：激光技术、条形光波导、激光直写、SiO2-TiO2、传输损耗

所属期刊栏目：32

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术发展研究计划"八六三"资助项目2005AA311030;国家自然科学基金资助项目5075086

在线出版日期：2008-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：317-319