10.3969/j.issn.1001-3806.2007.06.024
超短脉冲激光烧蚀半导体表面的热效应分析
为了研究超短激光辐照下半导体表面的热效应,采用有限差分法对双温方程进行了数值模拟,研究了飞秒、皮秒激光作用下,半导体表面载流子和晶格的温度分布情况.结果表明,载流子与晶格的温度耦合时间和金属耦合时间大致相同,激光功率密度是影响载流子温升的主要因素,超短脉冲激光入射时能量主要被半导体表层载流子吸收,所得结论与实验结果较吻合.
激光物理、飞秒激光、有限差分法、半导体、双温方程
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TN241(光电子技术、激光技术)
2008-03-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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