10.3969/j.issn.1001-3806.2007.03.025
二元编码光栅的误差扩散算法研究
为了研究二元误差扩散算法,采用计算机仿真的方法产生光栅模板用于位相测量轮廓术,分析误差扩散点数和误差分配系数对编码方法和测量精度的影响.结果表明,应用3种常见的误差分配系数用于产生正弦光场都具有较高的测量精度,三者间没有显著性差异.误差扩散点数对编码方法和相位测量精度的影响较小.实验证明,采用误差扩散编码后,系统综合误差可以控制在1%的等效波长以内,验证了二元误差扩散方法的可行性与精确性.
衍射光栅、位相测量轮廓术、二元编码、误差扩散算法
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O436.1(光学)
2007-07-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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