高速脊波导激光器寄生电容的分析

摘要：

高速调制半导体激光器光源是光纤通信系统、相控阵雷达等的关键器件.高速激光器的寄生电容是影响其调制带宽的因素之.为了减小寄生电容,针对脊波导结构激光器的电容,采用计算机模拟与实际测试相结合的方法,进行了理论分析和实验验证.结果表明,其寄生电容大小不仅与电极金属化面积有关,还与隔离沟的腐蚀深度有关.当腐蚀至波导层时,寄生电容减小到10pF以下.这一结论对实现激光器的高速调制是非常有意义的.

关键词：激光器、金属化、腐蚀、寄生电容、调制带宽

所属期刊栏目：31

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60476025;河北省自然科学基金F2005000084;603080

在线出版日期：2007-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：98-101