10.3969/j.issn.1001-3806.2006.03.031
高精度数字式光学膜厚监控系统
通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件.将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性.
薄膜、光学膜厚监控、数字式锁相放大器、精度、信噪比
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O484.4(固体物理学)
2006-07-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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