高精度数字式光学膜厚监控系统

摘要：

通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件.将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性.

关键词：薄膜、光学膜厚监控、数字式锁相放大器、精度、信噪比

所属期刊栏目：30

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2006-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：283-285