Nd∶YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究

摘要：

结合国内外激光薄膜加工研究结果,从激光与物质相互作用的角度出发,建立激光切割硅薄膜太阳能电池的柱面坐标理论模型.利用Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布,进一步用有限元法(finite element method,FEM)求得柱面坐标下热平衡方程的数值解.得出了能量密度、脉冲形状、重复频率、光斑形状与切割速度以及切割质量之间的关系.

关键词：激光技术、切割、有限元法、太阳能电池

所属期刊栏目：30

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2006-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：248-251