10.3969/j.issn.1001-3806.2005.06.010
激光处理GaN薄膜的研究
通过激光损伤实验,报道了GaN薄膜10.6μm CO2激光的损伤阈值是64J/cm2;为了改善GaN薄膜质量,对其进行了10.6μm CO2激光辐照处理,结果表明,处理后GaN薄膜的缺陷密度明显降低.并对机理进行了分析.
GaN薄膜、损伤阈值、激光处理、缺陷密度
29
O484(固体物理学)
2006-03-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
652-653,656
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10.3969/j.issn.1001-3806.2005.06.010
GaN薄膜、损伤阈值、激光处理、缺陷密度
29
O484(固体物理学)
2006-03-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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