10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.029
准分子激光直刻横向影响区实验研究
采用248nm KrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区.将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系.在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法.
准分子激光、直刻、横向影响区、脉冲激光参数
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TG665
国家高技术研究发展计划863计划2002AA421190
2005-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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