激光微细熔覆电阻浆料直写电阻技术初步研究

摘要：

应用一种新工艺--激光微细熔覆电阻浆料直写电阻技术,在陶瓷基板上制备厚膜电阻.介绍了新工艺研究的初步成果,及激光直写的附着机理,并展示了部分线电阻及通过搭接获得的电阻图案.重点讨论工艺参数的影响,研究了预置膜层厚度、激光功率和激光扫描速度对电阻线宽的影响规律.

关键词：激光技术、激光微细熔覆、厚膜电路、电阻、陶瓷基板

所属期刊栏目：29

分类号：TG156.99(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA421290;国家自然科学基金50075030

在线出版日期：2005-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：123-125,134