10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.005
准分子激光光束均匀技术
由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布.介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围.
准分子激光、光束均匀、蝇眼、光刻
29
TN248.2(光电子技术、激光技术)
上海市科技发展基金021111000
2005-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
207-209,212
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10.3969/j.issn.1001-3806.2005.02.005
准分子激光、光束均匀、蝇眼、光刻
29
TN248.2(光电子技术、激光技术)
上海市科技发展基金021111000
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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