封离型全金属RF激励CO2激光器的热设计

摘要：

全金属RF激励CO2激光器中,气体放电区的温度分布与放电区的工作气体、注入功率和激光器外壳温度都有关系.腔体厚度以及腔体和金属电极之间的绝缘气体层厚度的变化,对放电区的温度分布也会产生一定的影响.通过解析的方法,计算各种因素对温度分布的影响,为合理设计激光器的结构参数和选择适当比例的激光工作气体提供了有利的参考.

关键词：热传导、全金属结构、扩散冷却、射频放电、CO2激光器

所属期刊栏目：29

分类号：TN248.2+2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：21-23