短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

摘要：

以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现.采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度.结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad.动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉.

关键词：XeCl准分子激光、纳秒放电、脉冲激光沉积技术、辉光放电

所属期刊栏目：28

分类号：TN242(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60171043;陕西省自然科学基金2001C21

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：434-437,448