CO2激光辐照下光学薄膜的温度场与热畸变

摘要：

介绍了光学薄膜温度场的基本理论,利用交替隐型技术,对10.6μm激光辐照下介质薄膜的温度场分布进行了数值模拟和理论分析.在此基础上,利用夏克-哈特曼波前传感器对介质基底样品、不同厚度的介质单层膜样品以及不同膜系的YbF3/ZnSe介质多层膜样品在10.6μm CO2激光辐照下的热畸变进行了实验研究.研究结果表明,激光辐照下光学薄膜样品的温度场分布与辐照激光的光场分布、激光功率以及激光的辐照时间等因素有关.对于10.6μm激光而言,Ge最适宜做基底材料.

关键词：光学薄膜、温度场、热畸变、10.6μm激光

所属期刊栏目：28

分类号：O432.2;O484(光学)

在线出版日期：2004-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：255-258