10.3969/j.issn.1001-3806.2004.02.027
水浴条件下YAG倍频激光切割Si片的实验研究
用Nd∶ YAG固体倍频激光器在水中对Si片进行微刻蚀比在空气中产生的飞溅物少.对两种条件下的刻蚀速率、刻槽表面形貌进行了比较.实验结果得到最窄的刻缝宽度小于50μm,表面不平整度小于5μm,为工业用激光切割Si片提供了更好的工艺.
YAG固体倍频激光、切割、Si片、水浴
28
TG485;TN248.1(焊接、金属切割及金属粘接)
2004-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
131-132,143