大功率CO2激光器尾镜取样功率测控的研究

摘要：

激光功率是激光器中最基本的参数,激光功率的稳定、准确将对激光加工等领域产生直接而巨大的影响.在大功率CO2激光器功率测控系统中,采用尾镜即全反球面镜漏光进行激光功率采样,并通过西门子S7-200 PLC实现对整个系统的激光功率测控,可以有效提高对激光器的控制精度和稳定性,且不影响激光输出.

关键词：激光功率、全反射镜漏光、薄膜探测器、PLC、测控系统

所属期刊栏目：27

分类号：TN248.2;TP274.5(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：588-590