反射激光式超声测厚传感器及其应用

摘要：

研制了激光超声测厚传感器,并对其测试原理进行了讨论.该传感器具有高频响、频带宽、较高的灵敏度且易于调节.进而采用该传感器测试了由脉冲Nd∶ YAG激光在抛光的薄铁片上所激发的超声纵波.根据铁片背面对心处接收到的超声纵波及其回波波形,可以推算出样品薄板的厚度.理论和实验测试结果显示,该传感器的相对测量误差达0.5%.

关键词：激光超声、光偏转、测厚传感器、纵波

所属期刊栏目：27

分类号：TN247;TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;教育部优秀青年教师资助计划;国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：557-559