射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

摘要：

分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则.通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.

关键词：RF CO2激光器、划片、氧化铝陶瓷基片、数值模拟

所属期刊栏目：27

分类号：TN249;TG665(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：352-356