用亚波长正弦介质光栅设计1/4波片

摘要：

采用扩展边界条件法,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型1/4波片的结构参数.发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度.讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题.

关键词：亚波长正弦介质光栅、反射型1/4波片、方位角、偏振光

所属期刊栏目：27

分类号：O434.19(光学)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：368-370