10.3969/j.issn.1001-3806.2003.03.032
三平板剪切干涉仪自动测试系统
三平板剪切干涉仪是环路剪仪中最简单的一种,它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出身光束恒相互平等等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测,探讨了由剪切干涉图复原原始波面的1阶微分法,编制了专家辅助软件系统,为光机型的三科板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统、实现了光、机、电、算相结合,融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪,并通过实验验证了方法的重复性精度。
剪切干涉仪、波面复原、波面拟合
27
O435.2;TH744.3(光学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
226-228,232