硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

摘要：

研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔.它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅的各向异性腐蚀技术(EPW),由于EPW 对〈110〉面有仅次于〈111〉面的腐蚀速率,可制造出具有光学镜面的侧壁面的硅模具.利用此模具可制成出四角形环型PMMA固态染料微小谐振腔.利用激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在调Q Nd∶YAG自倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出.

关键词：微小共振器、硅各向异性腐蚀、硅模具、染料激光器

所属期刊栏目：27

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：211-213