激光抛光化学气相沉积金刚石膜

摘要：

讨论了激光抛光金刚石膜机理、影响因素,分析了激光抛光金刚石膜理论模型、激光抛光后金刚石膜的粗糙度极限,提出要实现金刚石膜特别是厚膜的精密抛光须考虑激光辅助复合抛光或其它抛光工艺.

关键词：CVD金刚石膜、激光抛光、表面粗糙度

所属期刊栏目：27

分类号：TN249;TB32(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：106-109