10.3969/j.issn.1001-3806.2001.05.003
一种提高极值法监控精度的方法
提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值.这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度.
薄膜淀积、极值监控法、膜厚监控精度、过正控制量
25
TB43(工业通用技术与设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
386-389
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10.3969/j.issn.1001-3806.2001.05.003
薄膜淀积、极值监控法、膜厚监控精度、过正控制量
25
TB43(工业通用技术与设备)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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386-389
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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