He-Ne激光器功率调谐位移传感激光器

摘要：

阐述了一种新型的He-Ne激光位移传感器,具有自校准功能以及没有原理上的误差.利用频率分裂技术,将一个纵模间隔分为4个宽度相等的区间,在这4个区间内激光器具有不同的光功率输出.当一个频率移动过这样的一个区间,相当于激光器的一个腔镜移动了λ/8.可移动的反射镜与被测工件相连.这样,一支He-Ne激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器,其测量范围可达10mm,测量精度可达0.079μm,并具有判向的功能.

关键词：频率分裂、位移测量与传感、He-Ne激光、纵模间隔

所属期刊栏目：24

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：337-341