基于湿式清洗机的搬运机械臂精度设计

摘要：

湿式清洗机是集成电路制造的关键装备,具有强腐蚀性的内部作业环境、运行性能要求高等特点,这对其搬运系统的设计提出了较高的要求.根据湿式清洗机和直角坐标式机械臂的特点,提出了基于丝杠和齿轮齿条为驱动结构的机械臂精度设计方案;对机械臂上主要机械部件的规格和安装调试方案进行了详细设计;使用了模块化的安装基板在4 m以上的行程情况下实现了较高的行走精度.通过在无尘室内的安装调试,验证了该精度设计方案的可行性.

关键词：湿式清洗机、搬运机械臂、精度设计

所属期刊栏目：24

在线出版日期：2018-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：46-51