基于光栅干涉相位移动扫描的超精密测量方法

摘要：

精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展,而纳米级的位移测量技术又是制约精密定位技术发展的一个重要原因.研究了一种基于光栅干涉相位移动扫描原理的纳米级位移测量系统,利用光栅干涉仪实现光学四倍频,再利用条纹移相机构实现信号的进一步细分,获得亚纳米级的测量分辨率.

关键词：光栅干涉、相位移动扫描、纳米级测量系统

所属期刊栏目：21

资助基金：国家自然科学基金项目51275306

在线出版日期：2015-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22