基于ARM的晶圆传输机械手示教系统软硬件设计

摘要：

示教系统是用于晶圆传输真空机械手的重要组成部分,用来完成真空机械手的示教和参数设置.提出了真空机械手控制系统的总体框架,以AT9G45为核心设计示教系统硬件系统,包括微处理器模块、存储器模块、人机接口模块及通信接口模块.基于嵌入式Linux操作系统和Qt开发工具设计示教系统的人机交互界面及通信接口驱动.通过与机器人控制部分的连接调试验证了示教系统硬件设计和软件设计的可行性.

关键词：真空机械手、示教系统、嵌入式Linux、Qt

所属期刊栏目：20

分类号：TP2;TN9

资助基金：国家重大科技专项02专项课题,项目资助2009ZX02012-001

在线出版日期：2014-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：51-55