下一代实用光刻技术--纳米压印技术

摘要：

详细介绍了纳米压印技术的应用前景,对目前各种纳米压印工艺进行归纳、分类.通过对不同工艺过程的深入比较,分析了它们的优缺点,并展望了各自的应用前景.

关键词：纳米压印技术、微接触印刷法、热压印、工艺比较

所属期刊栏目：11

分类号：TS8(印刷工业)

在线出版日期：2006-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19