基于单片机的余弦误差修正系统

摘要：

阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差.分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差.

关键词：激光干涉仪、余弦误差、单片机

所属期刊栏目：11

分类号：TP3;TH7

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404450;上海市重点学科建设项目

在线出版日期：2005-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：84-86