特种微细加工的现状及应用

摘要：

本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用.

关键词：特种微细加工、电火花微细加工、电子束和离子束微细加工、激光微细加工、超声微细加工

所属期刊栏目：9

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9