多分辨率小波在非连续涂层测厚的应用

摘要：

通过构建动态扫描系统,控制C型移动机构的运动,使激光传感器完成对锂电池薄膜涂层的动态扫描.其中激光传感器采用三角位移法实现锂电池膜厚的在线测量.在非连续性薄膜动态测厚系统中,对于外界振动所引起的动态误差,采用阈值判断和多分辨率小波算法实现动态误差的去噪.通过分析扫描系统的固有频率、振动频率以及研究不同阈值在各种扫描状态时的测量结果,表明上下阈值在160-210 μm时既能达到较好的检测精度且不会出现厚度超差的漏报.混合去噪的实验结果表明:系统的动态扫描检测精度(以均方差衡量)可以达到2-3 μm,相比于传统时域、频域以及单一的多分辨率小波去噪方法,该方法检测精度高,鲁棒性好且适用于涂膜间距较小且非连续涂层的厚度测量.

关键词：非连续、膜厚、阈值、多分辨率小波

所属期刊栏目：20

分类号：TP274(自动化技术及设备)

资助基金：2011年常州市科技计划项目CE20110099

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：175-178