单晶硅表面微纳结构构建及其疏水性能分析

摘要：

利用去除晶胞的方式在单晶硅100晶面的表面构建不同结构的光栅微纳结构及方柱阵列微纳结构,同时采用MD数值模拟方法,结合疏水结构模型,建立适用于光栅及方柱阵列微纳结构的结构模型,将理论接触角与仿真测量接触角对比并分析,从微观尺度上验证试验结果,得出两种结构参数对表面疏水性能的影响.研究结果表明:在去除一层晶胞的前提下,方柱阵列微纳结构的接触角为131°,其疏水性能更强.而结构参数在Cassie-Baxter模型条件前提下,疏水性能随着疏水结构间的间距宽度增加而增大,随疏水结构宽度增大而减小.

关键词：疏水性能、结构参数、微纳结构、分子动力学

所属期刊栏目：47

分类号：TH117.2

资助基金：Research fund project of Suzhou University of Science and Technology"Study on surface integrity analysis and control technology of high precision micro milling";National Natural Science Foundation of China"Research on the dynamics and stability in high-precision micro-milling of micro structures";苏州科技大学科研基金项目;国家自然科学基金资助项目

在线出版日期：2020-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：64-68,73