应用于IC制造领域的磁悬浮定位平台综述

摘要：

磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点,在当前IC 等制造领域具有广阔的应用前景,尤其适用于高真空、高洁净工作环境,新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点.磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统,为了实现控制系统的完全解耦,提高平台的定位精度,在结构、解耦方法和控制方法上,总结了国内外研究学者所做的大量研究,指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术,优化磁悬浮定位平台性能,为IC制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向.

关键词：磁悬浮、精密定位、解耦、控制方法

所属期刊栏目：45

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：2013 年度高等学校博士学科点专项科研基金项目20133201130003;国家863 计划2013AA041109

在线出版日期：2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：162-166,113