LDS激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正

摘要：

LDS(Laser Direct Structuring)激光打标机的振镜扫描系统存在失真问题,从而造成动态聚焦误差.对激光振镜扫描系统失真问题进行了详细理论分析,建立了该振镜扫描系统的数学模型,讨论了振镜动态聚焦误差来源和误差表现,提出了LDS振镜扫描系统误差矫正方法,通过实验验证了该方法的可行性.

关键词：LDS、激光振镜、动态聚焦、误差分析、误差矫正

所属期刊栏目：43

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省自然科学基金资助项目S2012010009058;深圳市战略新兴产业发展专项资金基础研究项目JCYJ20120613105226998

在线出版日期：2015-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56