一种位移放大微动平台的设计和特性分析

摘要：

为了增大微动平台的工作行程，设计一种新型位移放大机构，并对其静态和动态特性进行分析。采用杠杆原理设计一种新型的二级微位移放大机构。采用有限元软件ANSYS对机构的柔度和放大倍数进行分析，分析结果表明所设计的平台能放大y方向位移，放大倍数为8.81，而在x和z方向位移较小。对机构进行灵敏度分析表明该机构在x、y方向的位移灵敏度分别为0.86μm/μm、8.82μm/μm，说明机构在放大y方向的位移反应较灵敏。对机构进行模态分析，从振型可以看出该机构能实现运动方向为x和y方向平动，但在x方向的位移较小，并且预应力对机构的固有频率影响较小。研究结果表明，所设计的机构具有较大的工作空间和较高的灵敏度。

关键词：位移放大机构、固有频率、灵敏度、柔度

分类号：TH703;TP274(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51265016

在线出版日期：2014-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：101-103