10.3969/j.issn.1001-3881.2014.15.30
一种位移放大微动平台的设计和特性分析
为了增大微动平台的工作行程,设计一种新型位移放大机构,并对其静态和动态特性进行分析。采用杠杆原理设计一种新型的二级微位移放大机构。采用有限元软件ANSYS对机构的柔度和放大倍数进行分析,分析结果表明所设计的平台能放大y方向位移,放大倍数为8.81,而在x和z方向位移较小。对机构进行灵敏度分析表明该机构在x、y方向的位移灵敏度分别为0.86μm/μm、8.82μm/μm,说明机构在放大y方向的位移反应较灵敏。对机构进行模态分析,从振型可以看出该机构能实现运动方向为x和y方向平动,但在x方向的位移较小,并且预应力对机构的固有频率影响较小。研究结果表明,所设计的机构具有较大的工作空间和较高的灵敏度。
位移放大机构、固有频率、灵敏度、柔度
TH703;TP274(仪器、仪表)
国家自然科学基金资助项目51265016
2014-09-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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