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10.3969/j.issn.1001-3881.2012.18.006

一种新的大平面平面度测量方法

引用
针对大平面度测量,设计一种新的平面度测量系统,该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等,而是以液面作为一个平面基准,用干涉仪标定出测量系统的系统误差,然后用接触式传感器测量被测件,再进行误差分离,将系统误差从测量误差中分离出去,从而达到对大平面度的高精度测量.

大平面、平面度测量、液面、误差分离

40

TH161.12

2013-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

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机床与液压

1001-3881

44-1259/TH

40

2012,40(18)

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