基于压电陶瓷的微进给平台的实验研究

摘要：

超精密加工技术是机械制造业中最重要的部分,基于压电陶瓷的微位移机构是近年来发展起来的一种新型微位移机构.设计以压电陶瓷为驱动的、以弹性铰链为支撑的微进给平台,并进行大量的试验,采用不同的升降压步长对平台进行驱动.结果表明采用合适的升降压步长,可改善压电陶瓷的电压-位移的迟滞度,从而得到实用的电压-位移曲线.

关键词：压电陶瓷、弹性铰链、微进给平台、迟滞特性

所属期刊栏目：38

分类号：TG506(金属切削加工及机床)

资助基金：河北省自然科学基金资助项目E2006000069

在线出版日期：2010-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：30-32