一种新型激光测量仪在X-Y工作台定位误差动态测量和补偿中的应用

摘要：

论述新型激光测量仪OFV-5000的测量原理和方法,分析X-Y工作台定位误差的构成,指出滚珠丝杠的螺距误差是影响工作台定位精度的主要因素,结合实验室的具体情况设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量方法.在分析定位误差的基础上,提出采用前馈补偿方法减小定位误差,并通过实验证明前馈补偿对提高系统定位精度非常有效.

关键词：X-Y工作台、激光测量仪OFV-5000、定位误差、动态测量、补偿

所属期刊栏目：38

分类号：TH-39

在线出版日期：2010-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：82-84