高真空小空间环境下运动控制的单片机实现

摘要：

高真空小空间加工环境下,通过单片机实现对工作台面二维运动的控制.利用串口协议单片机与上位机进行通信,获得步进电机的旋转方向、速度、旋转角度等信号.单片机产生特定频率的脉冲,驱动步进电机按设定速度运动,与电机相连的丝杠将旋转运动转换为直线运动.该系统具有精度高、响应快的特点.

关键词：真空、运动控制、步进电机、单片机

所属期刊栏目：37

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：重庆市科委攻关项目合同CSTC 2005AA3012-1;重庆市自然科学基金项目合同CSTC 2006BB3407

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64