10.3969/j.issn.1001-3881.2008.11.031
微型三坐标测量机定位精度的研究
为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度,在不增加新硬件的基础上,构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统.并给出了步进电机在开环和闭环状态下的定位检测数据.检测结果表明:该系统明显地提高了步进电机的定位精度,满足了系统对于粗定位平台的定位要求.
步进电机、压电陶瓷、激光干涉仪、闭环控制
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TH744.3(仪器、仪表)
国家自然科学基金资助项目50575178
2009-02-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
88-90