双面抛光机气动伺服加载系统分析

摘要：

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行精确控制,从而保证抛光质量.为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀.同时对气动伺服加载系统进行数学建模和模块化分析,最后进行了实验研究.结果表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片.

关键词：气动数字伺服阀、气动伺服加载系统、双面抛光机、模块化分析

分类号：TH13

资助基金：国家自然科学基金50475118;浙江省自然科学基金R104506

在线出版日期：2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：72-74