半自动装配微靶技术研究

摘要：

研究设计了一种微型靶标的半自动装配系统.该系统可以对两个半圆柱夹具(直径0.8mm,高1.6mm)和微小球体靶标(直径0.2mm)进行半自动装配.文中详细介绍了该系统的结构与组成,及其所采用的关键技术与方法.分析了各个运动调控项目的工作原理和结构设计方法.并经过实验证明,装配可以达到各项平行度误差和小球中心与两个半圆柱中心的位置误差均不超过3μm.

关键词：微靶标、装配、CCD传感器、压电陶瓷

分类号：TP24(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8