一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪

摘要：

在已有的研究成果基础之上,介绍了一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪,详细说明了该仪器传感器原理和光电信号处理方法,开发了基于虚拟仪器平台LabWindows/CVI的软件系统并进行了实际测量.该仪器垂直测量范围为±3mm,垂直分辨率为0.005μm.

关键词：表面形貌、柱面全息衍射光栅、粗糙度、虚拟仪器

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-24,11