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10.3969/j.issn.1001-3881.2005.11.009

一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪

引用
在已有的研究成果基础之上,介绍了一种以柱面全息光栅为标准器的大量程表面形貌测量仪,详细说明了该仪器传感器原理和光电信号处理方法,开发了基于虚拟仪器平台LabWindows/CVI的软件系统并进行了实际测量.该仪器垂直测量范围为±3mm,垂直分辨率为0.005μm.

表面形貌、柱面全息衍射光栅、粗糙度、虚拟仪器

TB92(计量学)

2005-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

22-24,11

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机床与液压

1001-3881

44-1259/TH

2005,(11)

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