10.3969/j.issn.1001-3881.2005.07.075
基于CAD和CAM的AFM和STM机电装置的故障诊断和设计研究
通过CAD和CAM的实体建模技术,并对SPM的工作情况进行仿真研究,得到了SPM的失效原因.使用CAM技术对SPM进行设计研究,提出了一种针对SPM的新型偏心升降装置,使得SPM的测试高度大大增强;并设计了过载保护装置,解决了SPM测试较高样品时的失效问题.
AFM、STM、SPM、CAD、CAM、故障诊断、设计
TP206.3(自动化技术及设备)
大南大共建纳米研究中心项目
2005-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
180-182,166