10.3969/j.issn.1001-3881.2004.09.002
Power MEMS研究现状及展望
归纳了Power MEMS研究的现状,分析了该领域尚待解决的关键问题,并对其今后的发展前景给予展望.
Power MEMS、MEMS、电源
TP271(自动化技术及设备)
国家自然科学基金50275135;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404040
2004-10-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
5-6,54
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10.3969/j.issn.1001-3881.2004.09.002
Power MEMS、MEMS、电源
TP271(自动化技术及设备)
国家自然科学基金50275135;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404040
2004-10-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
5-6,54
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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