基于单边驱动的精密气浮工作台之振动分析与抑制

摘要：

在精密气浮工作台中,经常采用单边驱动方式,它避免了复杂的同步运动控制,但由于质心偏置也容易引起振动和不稳定性.为了消除单边驱动所带来的不利影响,本文从导轨气膜刚度、共振频率等几个方面提出了消除振动和不稳定性的不良影响的设计方法.

关键词：动力学、振动、气浮工作台、精密运动

分类号：TH122

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA423170

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-21,68