高精度巨磁阻传感器设计

摘要：

巨磁阻传感器预计将实现极高的灵敏度.采用优化传感器结构的方法,通过有限元分析,获得高信号噪声比.当带传感器的最佳尺寸为:厚4.3 μm,带宽20～30 μm,长数mm,曲流传感器元件CoNbZr(厚4.3 μm,长5 μm,宽30 mm,圈数为3)采用特殊工序建造,在几百MHz时,得到变化超过200%的高阻抗,尤其在501 kHz时,获得1.7×10-8Oe/Hz1/2的磁场分辨率.

关键词：磁场、传感器、集肤效应、有限元分析

所属期刊栏目：32

分类号：TP212.13(自动化技术及设备)

在线出版日期：2010-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：84-86