声表面波气体传感器技术

摘要：

叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势.介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分--声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一种新型的气体检测技术.

关键词：声表面波(SAW)、气体传感器、声表面波延迟线(SAWDL)、声表面波谐振器(SAWR)

所属期刊栏目：28

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：92-95